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태양전지 비용을 반으로 줄여줄 수 있는 공정 개발

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기관명	NDSL
작성자	글로벌 과학기술정책 정보서비스
작성일자	2012-03-26 00:00:00.000
내용	태양전지 생산비용을 절반으로 줄일 수 있는 단결정 실리콘 제조방법을 미국 트윈크릭스 테크놀로지사가 개발했다. 이 회사의 하이페리온 프로세스는 3mm 두께의 단결정 실리콘 디스크를 진공챔버에 넣고 수소이온 빔을 조사하여 디스크 면에 이온층을 형성하고, 이 이온들이 실리콘 속으로 들어가 표면 바로 아래에 자리를 잡는다. 이 디스크를 가열로에서 처리하면 이온들이 팽창하여 미세한 수소가스 버블이 형성되고 이 버블의 압력 때문에 디스크 표면에서 20 마이크로미터 두께의 실리콘 층이 떨어져나오며 이를 금속제 기판에 부착하면 웨이퍼가 제작된다. 웨이퍼는 기존의 200 마이크로미터 웨이퍼와 효율은 동일하나 90%의 실리콘을 절감할 수 있다. 이 시스템은 또한 기존 생산라인에 추가하거나 갈륨질화물이나 게르마늄 같은 단결정 소재 웨이퍼 생산에도 사용될 수 있다
출처
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=TREND&cn=ARTI-00000001289
첨부파일

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