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-반도체 가공 기술을 응용하여 종래의 기계 가공의 한계를 넘어 소형화 가능 -LSI와의 총합으로 고기능화, 소형화 도모 -대량 생산으로 코스트 절감이 기대 -유럽: IMEC 등을 중심으로 다기능 집적화 MEMS 연구에 주력 -일본: MEMS 산업화는 벌크 마이크로 머시닝에 의한 단기능 디바이스가 중심 -대만: CMOS 혼재 집적화, 파운드리 비즈니스 -미국: DARPA를 중심으로 IR, RF 등 MEMS 집적화에 적극 투자 * 1 step(현상): 단기능 디바이스-기존 부품의 대체 -3차원 마이크로 가공을 중심으로 일본식 MEMS 인하우스, 파운드리의 양 발전 * 2 step: 다기능 디바이스-필수 부품의 창출 -집적화를 위한 3차원 가공 기술의 고도화 -나노, 바이오를 포함한 이종 재료를 유효하게 활용한 집적화 -개발지원형 파운드리가 필수 -제조 코어 기술을 보유한 인하우스가 확대 * 3 step~: MEMS 기기-새로운 시장 창출에서 라이프스타일 창출로 -자재형상화(自在形狀化) -생체 융합으로 기능 비약 -머신 DNA를 토대로 자가 증식, 자가 조직화 -새로운 기능 융합과 집적화에 의한 MEMS 산업 강화가 불가결 -주력해야 할 MEMS 기반 기술은 3차원 강화와 이종 재료 활용에 의한 기능 및 지능의 집적화 기술 전략맵 및 해당 프로세스를 통해 다음 사항에 활용 기대. -장래의 기술 예측, 니즈 동향 파악 -중요 기술의 압축, 자가 테마 선정 -매니지먼트 툴, 커뮤니케이션 툴 * MEMS 프로젝트 -총사업비: 약 29억엔(2003년~2005년) -향후 비교적 단기간에 거대 시장이 기대되는 RF-MEMS(RF 스위치), 광 MEMS, 센서 MEMS의 실용화에 필요한 제조 기술 확립 -이들 디바이스를 사업화함과 동시에 파운드리 사업에 전개 * MEMS용 설계 및 해석 지원 시스템 개발 프로젝트 2006년 사업비: 3.8억엔(2004~2006년) -다양한 분야에 걸친 기술자와 MEMS분야의 정통이 아닌 기술자에 대해 기계 구조의 해석, 제조 프로세스의 시뮬레이션 및 최종 기능의 확인 평가까지 일련의 해석을 지원함. -MEMS 기술자의 확대 및 시뮬레이션 회수 삭감을 꾀함. * 고집적/복합 MEMS 제조 기술 개발 프로젝트 2006년 사업비: 10.5억엔(2006~2008년) -MEMS/나노테크 기능의 복합 기술 개발 -MEMS/반도체의 일체 형성 기술 개발 -MEMS/MEMS의 고집적화 기술의 개발 |
