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롤투롤 공정을 이용한 100m 길이의 고품질 그래핀 생산

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기관명	NDSL
작성자	글로벌 과학기술정책 정보서비스
작성일자	2013-02-04 00:00:00.000
내용	일본 소니사가 롤투롤 기술을 적용한 화학기상증착법을 통해 100m 길이의 고품질 그래핀 투명 전도성 박막을 생산하는데 성공했다. 스테인레스 스틸 진공 챔버에 롤투롤 증착 시스템을 구성했으며, 구리 호일을 연속적으로 챔버 안으로 공급하고 메탄과 수소가스 조합을 통해 그래핀이 합성되는 두 롤러 사이에 전류를 인가함으로써 국부적으로 1000도에 이르는 온도를 얻을 수 있었다. 또한 저압 CVD 공정을 통해 구리 호일이 기화되는 것을 방지하고, 메탄의 부분압력을 높여 그래핀 성장 속도를 향상시켰다. 전체적으로 분당 0.1m 속도로 롤투롤 CVD 성장을 진행했으며, 16시간 연속적으로 진행된 실험에서 안정적인 공정이 가능했다.
출처
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=TREND&cn=ARTI-00000001510
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