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문부과학성에서는 전자현미경 기술개발 과정에서 외국과의 경쟁이 치열한 기술영역의 원천기술을 개발하고, 차세대 전자현미경 요소기술의 실용화를 향한 고도의 성능을 목적으로 연구개발 과제를 공모하고 채택된 과제를 발표하였다. 1. 공모를 실시한 연구개발 영역 다음 영역에서 3년간 추진될 연구개발 과제를 공모하였다. 1) 컴퓨터 제어에 의한 전자현미경의 자동화 및 제진(制振)기술에 있어서 전자현미경의 고성능화, 고기능화가 이뤄지고 취급하기 어려워짐에 따라 이용상의 문제가 제기되고 있다. 이에 대응하기 위해 컴퓨터 제어에 의한 자동화를 촉진하고 조작을 간편하게 할 필요가 있다. 특히 생산라인에서 사용할 때 진동에 대한 대책기술이 확립되지 않아서 진동이 적은 별도의 장소에서 검사를 하고 있다. 자동제어가 이뤄진 STEM이 개발되면 생산성 향상과 품질향상을 기대할 수 있다. 이와 같이 고도로 제어된 안전성과 신뢰성이 높은 전자현미경을 실현하기 위해 컴퓨터 제어에 의한 전자현미경 조작의 자동화, 제진에 관한 기술개발을 추진한다. 2) 전자광학계의 고도화에 관한 요소기술의 개발 재료, 물질, 미세화 된 전자기기 등의 기능해명, 특성과 신뢰성의 향상을 위해 표면의 구조관찰, 원소분석, 전자상태의 상세한 해명이 필요하다. 원자1개의 미세한 결함을 분석할 수 있는 전자현미경의 전자광학계 성능을 크게 향상시키는 요소기술을 개발한다. 2. 심사 및 채택결과 2007년 3월 30일부터 5월 7일까지 공모를 실시하였다. 심사검토회에서 1차 서류심사, 2차 청문심사를 실시하였다. 그 결과 별지 내용과 같이 2건이 채택되었다 3. 앞으로의 예정 제안자에게는 연구개발 실시에 따른 유의사항, 탈락사유 등을 포함한 실시결과를 통지하고,채택된 과제의 제안자와 위탁계약을 체결하고 연구개발을 시작할 예정이다. 별지 : 2007년도 차세대 전자현미경 요소기술 개발 채택과제 일람(2건) (1) 컴퓨터 제어에 의한 전자현미경의 자동화 및 제진기술에 관한 개발 과제명 대표기관 참여기관 개요 전자현미경의 제진성능 향상을 위한 제어기술과 구조설계기술의 개발 오사카 대학 일본전자주식회사 등 생산현장에서 전자현미경의 성능유지를 위해 책상과 공기를 통해 전달되는 진동의 제어기술을 개발한다. 고성능 능동 제어 장치개발과 구조설계 방법을 개발한다. (2) 전자광학계의 고도화에 관한 요소기술 개발 과제명 대표기관 참여기관 개요 자기정합형 4극자 수차보정광학 시스템의 개발 三重大學 산업기술종합연구소 등 자기정합형 기능을 갖기 위한 구조와 제어가 간편한 4극자, 개구전극형 구면수차보정광학 시스템을 개발한다. 이 수정보정 시스템을 차세대 이온빔장치에 탑재하여 유효성과 실효성을 실증한다. |
