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종이 위에 실리콘을 프린팅시킬 수 있는 새로운 방법

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기관명	NDSL
작성자	글로벌 과학기술정책 정보서비스
작성일자	2015-05-04 00:00:00.000
내용	네덜란드와 일본 연구진이 기판 위에 실리콘 잉크를 코팅하고 단일 레이저 펄스로 어닐링하여 다결정성 실리콘을 제조할 수 있는 새로운 방법을 개발했다. 350℃의 열 어닐링 단계 없이, 액체 실리콘을 폴리실리콘으로 직접 변환시켰다. 무산소 환경에서 종이 위에 액체 폴리실란을 직접 코팅한 후, 엑시머 레이저로 층을 어닐링했다. 레이저 프린트된 층을 사용한 박막 트랜지스터가 기존의 폴리실리콘 전도체와 대등한 높은 이동도를 가진다는 사실을 발견했다.
출처
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=TREND&cn=ARTI-00000002107
첨부파일

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