특허 | 기업공감원스톱서비스

특허

수소 검출센서 및 그 제조방법

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	울산대학교 산학협력단
출원번호	10-2011-0002367
출원일자	2011-01-10
공개번호	20120720
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	수소 검출센서 및 그 제조방법이 개시된다. 본 발명의 실시예에 따른 수소 검출센서는, 유리 기판; 및 유리 기판의 일면에 물리적 기상 증착(PVD) 방법을 통해 증착되는 TiO 2 /ZnO 재질의 박막층을 포함하는 것을 특징으로 한다. 박막층은, RF 마그네트론 스퍼터 및 전자빔 조사 장치를 이용하여 7×10 -7 Torr 이하까지 배기한 후에 아르곤과 산소를 동시에 주입하여 1×10 -3 Torr의 진공도를 유지하며 TiO 2 와 ZnO타겟에 증착 순서대로 13.56MHz의 교류를 인가하여 증착될 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020110002367
첨부파일