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백금 촉매의 연속 도포 장치 및 방법

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기관명	NDSL
출원인	,
출원번호	10-2014-0048226
출원일자	2014-04-22
공개번호	20151105
공개일자	2016-04-05
등록번호	10-1608353-0000
등록일자	2016-03-28
권리구분	KPTN
초록	본 발명에 따른 백금 촉매 연속 도포 장치는 공정 챔버; 백금 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생기; 상기 플라즈마 발생기에서 발생한 상기 백금 플라즈마에 전기장을 제공하여 백금 이온을 분리 및 가속시키는 가속기; 상기 백금 이온이 주입되는 이온 교환막 또는 가스 확산층이 회전 가능하도록 지지되는 타겟롤; 및 상기 플라즈마 발생기 및 상기 타겟롤 사이에 배치되어, 상기 가속기에 의해 가속된 상기 백금 이온을 상기 이온 교환막 또는 상기 가스 확산층으로 주입되도록 가이드하는 가이드 부를 제공한다. 본 발명에 따르면 백금 플라즈마에서 발생한 백금 이온이 연속적으로 공급되는 이온 교환막 또는 가스 확상층 표면 상에 주입될 수 있어서 대량생산이 가능한 효과가 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020140048226
첨부파일