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특허/실용신안
수율 추산 및 제어
특허 실용신안 개요
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 출원인 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. |
| 출원번호 | 10-2016-7019101 |
| 출원일자 | 2016-07-14 |
| 공개번호 | 20160825 |
| 공개일자 | 0000-00-00 |
| 등록번호 | |
| 등록일자 | 0000-00-00 |
| 권리구분 | KUPA |
| 초록 | 리소그래피 장치에 의해 처리되는 생산 기판들을 수반하는 디바이스 제조 공정을 위한 컴퓨터-구현 결함 예측 방법이 개시되며, 상기 방법은 디바이스 제조 공정에 의해 처리되는 생산 기판들과 연계된 공정 파라미터의 측정된 또는 결정된 값들, 및 공정 파라미터의 값들 하에 디바이스 제조 공정에서 처리되는 생산 기판들과 연계된 결함들의 존재에 관한 표시를 포함하는 트레이닝 세트를 이용하여 분류 모델을 트레이닝하는 단계, 및 기판에 대한 결함의 예측을 나타내는 분류 모델로부터의 출력을 생성하는 단계를 포함한다. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167019101 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| IPC분류체계CODE | |
| 주제어 (키워드) |