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화학 기상침투 및 화학 기상 증착공정용 장치

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기관명	NDSL
출원인	굿리치 코포레이션
출원번호	10-1997-0703374
출원일자	1997-05-16
공개번호	20080509
공개일자	2003-10-30
등록번호	10-0389503-0000
등록일자	2003-06-17
권리구분	KPTN
초록	본 발명은 화학 증기 침투 및 증착법(CVI/CVD)에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 CVI/CVD노 내부의 반응 가스를 가열하기 위한 예열기와, 압력 증감 CVI/CVD 법에 의해 다공성 구조물 적층체내에 매트릭스를 증착시키기 위한 고정체에 관한 것이다. 본 발명은 다량의(수백의) 항공기 브레이크 디스크의 동시 CVI/CVD 처리에 특히 적합하다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1019970703374
첨부파일