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기상 증착에 의한 큰 종횡비를 갖는 돔의 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	롬 앤드 하스 일렉트로닉 머트어리얼즈, 엘.엘.씨
출원번호	10-2001-0045659
출원일자	2001-07-28
공개번호	20080509
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 미사일 및 항공기의 공기 역학 성능을 향상시키기 위하여 사용된 큰 종횡비 돔을 제조하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명의 장치 및 방법은 또한 운항, 조준 및 유도 시스템용으로 사용된 적외선 센서를 위한 투과성 돔을 제공한다. 본 장치는 돔을 형성하기 위해 맨드릴 상에 재료의 화학 증착을 위하여 화학 기상 증착 챔버 내에서 사용된다. 본 발명의 맨드릴은 증착 챔버 내에 배열되어 가스 상태의 반응체의 흐름은 맨드릴에 충돌하지 않는다. 반응체는 맨드릴 상으로 확산되어 큰 종횡비를 갖는 돔을 형성한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020010045659
첨부파일