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특허/실용신안
정전유도형 파티클 집진 장치
특허 실용신안 개요
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 출원인 | 주식회사 선익시스템 |
| 출원번호 | 10-2000-0045331 |
| 출원일자 | 2000-08-04 |
| 공개번호 | 20080509 |
| 공개일자 | 0000-00-00 |
| 등록번호 | |
| 등록일자 | 0000-00-00 |
| 권리구분 | KUPA |
| 초록 | 본 발명은 반도체 및 산업용에서 사용하고 있는 각종 화학기상증착(CVD), 물리적기상증착(PVD) 공정 장치에 있어서 파티클(Particle) 발생 억제 방안의 하나인 정전유도형 파티클 집진장치에 관한 것이다. 본 발명은, 반응기체가 유입되어 반응이 일어나는 공정실과, 반응기체가 공정후에 강제 배기되는 배기관, 배기관과 펌프사이 혹은 배기관 옆 혹은 공정실에 여분으로 만들어져 있는 탈·부착형 정전유도 파티클 집진부 및, 상기 파티클 집진부에 정전 유도를 이루어지도록 해주는 전원공급장치로 구성됨을 특징으로 한다. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020000045331 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| IPC분류체계CODE | |
| 주제어 (키워드) |