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화학 기상 증착에 의해 증착된 옥사이드/유기 폴리머 다층박막

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기관명	NDSL
출원인	데스 세슈 비.
출원번호	10-2000-7011837
출원일자	2000-10-24
공개번호	20080509
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	전구체의 구분된 휘발/분리 영역으로 구성되는 화학 기상 증착 장치를 이용하여 옥사이드와 유기 폴리머 유전 물질 층들을 교대시키는 다층박막을 CVD에 의해 제조하였다. 장치(100)는 그 압력이 압력 게이지(130)에 의해 모니터되고 펌프(134)에 의해 감소되는 통상적인 증착 쳄버(122) 및 SiO 2 전구체(112)와 폴리머 전구체(102)의 기화 쳄버로 구성된다. 다층막의 제조 방법을 기술한다. 본 발명의 구체예에서 제조된 막은 반도체 제조를 위한 유전 물질로서의 용도에 적합한 다층막의 전기적 특성을 갖는다. 본 발명의 구체예의 다층막은 RC 지연과 혼선을 감소시킴으로써 전자 산업에의 이용에 있어서 반도체 디바이스의 밀도를 증가시키고 보다 높은 실행 도수 및 신뢰도를 향상시킨다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020007011837
첨부파일