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고순도 암모니아의 충전방법 및 그 장치

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기관명	NDSL
출원인	(주)원익머트리얼즈
출원번호	10-2011-0030079
출원일자	2011-04-01
공개번호	20121012
공개일자	2012-12-04
등록번호	10-1208008-0000
등록일자	2012-11-28
권리구분	KPTN
초록	본 발명은 반도체 및 LED 등의 산업발전으로 점점 그 수요가 날로 증가하는 고순도 암모니아(NH 3 )의 충전방법 및 그 장치에 관한 것이다. 상세하게 설명하면 충전을 위하여 고순도 암모니아 저장탱크에서 충전탱크의 이동시 발생하는 기상의 암모니아에 의하여 제한되는 펌프의 종류에 의하여 발생하는 충전효율의 저하 및 이로 인한 문제점을 해결할 수 있도록 한 고순도 암모니아(NH 3 )의 충전방법 및 그 장치에 관한 것이다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020110030079
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