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다중 반응기 화학기상침착장비

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기관명	NDSL
출원인	주식회사 씨엔에프케이
출원번호	10-2014-0011685
출원일자	2014-01-29
공개번호	20150813
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 다중 반응기 화학기상침착 장비에 관한 것으로, 단일 전원에 다수의 화학기상증착반응기로 구성되어 있으며, 반응기들 사이에 전기적으로 직렬 연결되어 있고, 공정 가스 주 배관도 반응기들 사이에 직렬 연결되어 있다. 다수의 반응기를 가지고 있는 다중 반응기 화학기상침착 장비는 생산량에 따라 반응기 수를 조절함으로서 1회 공정에서 소량에서 대량까지 생산량을 조절할 수 있는 하는 효과가 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020140011685
첨부파일