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정전 척 표면을 위한 패드 설계

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기관명	NDSL
출원인	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
출원번호	10-2016-7016608
출원일자	2016-06-21
공개번호	20160728
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	실시예들은 최소 접촉 면적 피처들을 갖는 정전 척 표면에 관한 것이다.더 상세하게는, 본 발명의 실시예들은, 기판들 및 척킹 디바이스들의 감소된 마모 및 감소된 입자 생성을 제공하기 위한 상승된 세장형 표면 피처들의 패턴을 갖는 정전 척 어셈블리를 제공한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167016608
첨부파일