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특허

진공펌프의 트렌드 관측 및 진단분석 기법과 그 관측 및분석 기법 시스템 및 상기 기법을 수행하는 컴퓨터프로그램을 포함하는 컴퓨터가 판독 가능한 저장매체.

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기관명	NDSL
출원인	한국표준과학연구원
출원번호	10-2007-7016396
출원일자	2007-07-18
공개번호	20080509
공개일자	2009-02-10
등록번호	10-0882887-0000
등록일자	2009-02-03
권리구분	KPTN
초록	능동 진단 알고리즘과 같은 본 발명은 펌프를 고장으로부터 보호하기 위한 진공펌프의 성능 저하의 초기 감지 실현화 뿐만 아니라 진공펌프의 예보유지를 위해서도 개발되었다. 본 발명에 따르면, 펌프 간 작동 특성들과 다중 공정 조건들의 큰 변동성으로부터 발생하는 기술적 문제들, 특히 반도체 제작 공정에서의 기술적 문제들을 다루기 위한 단순하고 효율적인 방안이 가능해진다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020077016396
첨부파일