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특허

로드락 챔버 및 이를 포함하는 화학 기상 증착장치

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기관명	NDSL
출원인	삼성디스플레이 주식회사
출원번호	10-2013-0029913
출원일자	2013-03-20
공개번호	20141002
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명의 일 실시예에 따른 로드락 챔버는, 기판을 수용하며, 내부 압력이 대기압과 진공 상태로 반복 설정되는 로드락 챔버로서, 상기 기판이 출입되는 적어도 하나의 개구부가 마련된 챔버 바디; 상기 적어도 하나의 개구부를 개폐하는 적어도 하나의 도어부; 상기 챔버 바디의 내부 압력을 조절하는 압력 조절부; 및 상기 챔버 바디의 내부에 설치되어, 상기 챔버 바디의 내부에 존재하는 금속 파티클을 자기력(magnetic force)을 이용하여 흡착하는 흡착부;를 포함할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020130029913
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