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평면디스플레이용 화학 기상 증착장치의 로드락 챔버

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기관명	NDSL
출원인	주식회사 에스에프에이
출원번호	10-2013-0122368
출원일자	2013-10-15
공개번호	20150430
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	평면디스플레이용 화학 기상 증착장치의 로드락 챔버가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 평면디스플레이용 화학 기상 증착장치의 로드락 챔버는, 기판이 수용되는 챔버바디; 및 챔버바디에 연결되어 챔버바디의 내부를 진공상태로 유지하는 적어도 하나 이상의 진공유닛; 및 챔버바디에 연결되어 챔버바디의 내부를 대기압상태로 유지하는 적어도 하나 이상의 벤트유닛을 포함하며, 벤트유닛은, 챔버바디의 내부에 배치되되, 벤트가스를 기판의 상부영역에 분사하는 벤트가스 분사모듈; 벤트가스를 공급하는 벤트가스 공급부와 벤트가스 분사모듈을 연결하는 벤트라인; 및 벤트라인에서 분기되어 챔버바디에 연결되되, 벤트가스를 진공유닛을 통하여 배출하도록 벤트라인을 따라 배출되는 벤트가스를 챔버바디로 재유입하는 바이패스라인을 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020130122368
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