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유기금속화학기상증착장치

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기관명	NDSL
출원인	주식회사 테스
출원번호	10-2014-0137953
출원일자	2014-10-13
공개번호	20160428
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 유기금속화학기상증착장치에 관한 것으로서, 승강구동부에 의한 기판가열유닛의 승강구동 및 이송챔버와 상기 승강구동부에 의해 챔버 리드를 개폐하지 않고도 챔버내에 기판을 로딩 및 언로딩할 수 있으므로, 진공상태의 반응기를 대기 상태로 전환할 필요가 없으며, 기판을 로딩하면서 연속적인 공정이 가능하고, 기판을 공급하기 위해서 파트들을 분해 및 조립할 필요가 없다.또한, 챔버 내부의 고온상태에서도 기판의 로딩/언로딩이 용이하고, 고온의 증착공정에 의해 열변형된 서셉터나 샤프트를 교체하는 경우에도 레벨링을 용이하게 할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020140137953
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