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에어로졸 포커싱 디바이스용 압력-플로우 감소기

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기관명	NDSL
출원인	로렌스 리버모어 내쇼날 시큐리티, 엘엘시
출원번호	10-2008-7000859
출원일자	2008-01-11
공개번호	20080509
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	공기역학 포커싱 렌즈 스택을 통해 진공에서 견고하게 포커스된 입자빔을 전달하는, 많은 플로우, 대기압 샘플링을 수행하는 압력-플로우 감쇠기와 이러한 압력-플로우 감쇠기를 구체화한 에어로졸 포커싱 시스템이 제공된다. 압력-플로우 감쇠기는 샘플링 플로우 레이트를 조절하기 위한 입구 노즐, 압력을 감소시키고 낮은 압력, 낮은 플로우의 에어로졸 포커싱 디바이스에 인터페이스하기 위한 스키머 및 펌핑 포트가 있는 압력-플로우 감쇠 영역 및 에어로졸 입자를 감속 또는 정지시키는 완화 챔버를 가진다. 이러한 방식으로 압력-플로우 감쇠기는 플로우로부터의 압력을 분리하고, 대기압에서 그리고 분당 1리터보다 큰 레이트에서 에어로졸 샘플링을 가능하게 한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020087000859
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