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유체 저장 및 분배 시스템, 및 이를 포함하는 유체 공급 방법

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기관명	NDSL
출원인	어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드
출원번호	10-2012-7022488
출원일자	2012-08-28
공개번호	20120921
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	유체 저장 및 분배 시스템, 및 그 이용을 위해 유체를 공급하기 위한 방법에 관한 것이다. 유체 저장 및 분배 시스템의 각종 구성은, 물리적 흡착제를 함유하는 유체 저장 및 분배 용기 및 내부 조절기 장착식 유체 저장 및 분배 용기에 대한 치환을 포함한다. 본 시스템 및 방법은 광범위한 최종 용도에 적용에 가능하며, 유해 유체를 안전성을 보강하여 저장 및 분배한다. 특정 최종 용도에 있어서, 반응 가스는 대기압 이하의 압력으로 가스를 보유하는 물리적 흡착제를 함유한 대규모 고정식으로 배치된 유체 저장 및 분배 용기로부터 반도체 제조 설비로 분배되며, 이와 같은 용기는 본원에 기재된 바와 같이 재충진 가스의 안전한 가스원으로부터 재충진 가능하다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020127022488
첨부파일