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무액체 샘플 트랩 및 극미량의 산성 및 염기성 AMC 측정을 위한 분석 방법

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기관명	NDSL
출원인	엔테그리스, 아이엔씨.
출원번호	10-2016-7008646
출원일자	2016-04-01
공개번호	20160512
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본원에서는 가스 중 극미량 수준의 산성 또는 염기성 공중 분자 오염물용 무액체 트랩이 기술된다. 본원에 기술된 발명의 일 양태에서, 무액체 트랩은 유입구와 배출구를 포함하는 하우징, 유입구와 배출구 사이의 유동 경로, 및 하우징 내의 유입구와 배출구 사이의 유동 경로에 위치한 경질 소결 친수성 물질을 포함한다. 경질 소결 친수성 물질은 가스 중 산성 공중 분자 오염물을 트래핑하기 위한 약 0.05 몰 밀리그램 당량 내지 약 10 몰 밀리그램 당량의 염기종, 또는 가스 중 염기성 공중 분자 오염물을 트래핑하기 위한 약 0.05 몰 밀리그램 당량 내지 약 10 몰 밀리그램 당량의 산종을 포함한다. 무액체 트랩을 이용하여 극미량 수준의 산성 또는 염기성 공중 분자 오염물을 검출 또는 측정하는 방법도 기술된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167008646
첨부파일