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프로세싱 챔버를 위한 다공성 샤워헤드

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기관명	NDSL
출원인	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
출원번호	10-2021-7030971
출원일자	2021-09-27
공개번호	20211020
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	샤워헤드 조립체는 지지 구조 및 다공성 플레이트를 포함한다.지지 구조는 지지 피처(support feature)를 포함한다.다공성 플레이트는 적어도 약 50W/(mK)의 열 전도도를 갖고, 그리고 약 100 ㎛ 미만의 평균 직경을 갖는 복수의 기공들을 포함하며, 다공성 플레이트의 주변부의 적어도 일부는 지지 피처 상에 놓인다.샤워헤드는 기판을 프로세싱하는 데 활용되는 프로세싱 챔버 내에 포함될 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020217030971
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