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특허/실용신안
기판처리장치
특허 실용신안 개요
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 출원인 | 주성엔지니어링(주) |
| 출원번호 | 10-2020-0057054 |
| 출원일자 | 2020-05-13 |
| 공개번호 | 20200521 |
| 공개일자 | 0000-00-00 |
| 등록번호 | |
| 등록일자 | 0000-00-00 |
| 권리구분 | KUPA |
| 초록 | 본 발명은 챔버; 상기 챔버 상부에 위치하는 제1전극; 상기 제1전극의 하부에 위치하고, 복수의 개구를 포함하는 제2전극; 상기 제1전극에서 연장되어 상기 제2전극의 복수의 개구로 연장되는 복수의 돌출전극; 및 상기 제2전극과 대향하고 기판이 안치되는 기판안치대를 포함하되, 상기 제2전극의 개구가 상기 제2전극의 상면의 개구면적과 상기 제2전극의 하면의 개구면적이 다르게 구현된 기판처리장치에 관한 것이다. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020200057054 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| IPC분류체계CODE | H01L-021/67,C23C-016/44,H01L-021/02 |
| 주제어 (키워드) |