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β-Ga₂O₃계 단결정의 성장 방법

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기관명	NDSL
출원인	,
출원번호	10-2019-7020197
출원일자	2019-07-11
공개번호	20190725
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	쌍정화를 효과적으로 억제할 수 있는 β-Ga 2 O 3 계 단결정의 성장 방법을 제공한다.일 실시 형태에 있어서, EFG법을 이용한 β-Ga 2 O 3 계 단결정(25)의 성장 방법이며, 종결정(20)을 Ga 2 O 3 계 융액(12)에 접촉시키는 공정과, 종결정(20)을 끌어올려, 네킹 공정을 행하지 않고 β-Ga 2 O 3 계 단결정(25)을 성장시키는 공정을 포함하고, 모든 방향에 있어서 β-Ga 2 O 3 계 단결정(25)의 폭이 종결정(20)의 폭의 110% 이하인, β-Ga 2 O 3 계 단결정(25)의 성장 방법을 제공한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020197020197
첨부파일