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특허/실용신안
탄소 도핑된 규소 함유 필름을 위한 조성물 및 이 조성물을 사용하는 방법
특허 실용신안 개요
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 출원인 | 버슘머트리얼즈 유에스, 엘엘씨 |
| 출원번호 | 10-2019-7006067 |
| 출원일자 | 2019-02-27 |
| 공개번호 | 20190314 |
| 공개일자 | 0000-00-00 |
| 등록번호 | |
| 등록일자 | 0000-00-00 |
| 권리구분 | KUPA |
| 초록 | 본 명세서에는 전자 장치를 제조하기 위한 조성물 및 이 조성물을 사용하는 방법이 기술되어 있다. 보다 구체적으로, 본 명세서에는, 낮은 유전 상수( |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020197006067 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| IPC분류체계CODE | C23C-016/34,C23C-016/36,C23C-016/40,C23C-016/455,C23C-016/56,H01L-021/02 |
| 주제어 (키워드) |