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극미량 유체의 자유로운 이용을 위한 상변화 구동 방식 마이크로 펌프 및 그 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	양상식
출원번호	10-2002-0032790
출원일자	2002-06-12
공개번호	20080509
공개일자	2005-06-03
등록번호	10-0493208-0000
등록일자	2005-05-25
권리구분	KPTN
초록	게시된 내용은 화학·의학·약학·생명 공학·환경 공학 등의 바이오 산업 전반에 걸친 첨단 응용에 필수적인 극미량 유체의 자유로운 이용을 가능하게 하는 상변화 구동 방식의 마이크로 펌프 및 그를 제조하기 위한 방법에 관한 것이다. 본 상변화 구동 방식 마이크로 펌프는 한 쌍의 알루미늄 플랩 밸브와 상변화 구동기로 구성된다. 상변화 구동기는 히터와 실리코운 러버막, 작동액실 등을 갖는다. 작동액실 내에 채워지는 작동액의 비등과 응축으로 실리코운 러버막이 구동된다. 마이크로 펌프는 사진 식각 기술, 이방성 식각, 고농도 붕소 도핑, 알루미늄 증착 등의 마이크로머시닝 공정으로 제작함으로써 수 밀리미터 이하의 크기로 소형화가 가능하고, 소자의 집적화 및 일괄 공정에 의한 대량 생산 및 생산 단가의 절감을 꾀할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020020032790
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