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다성분 필름을 제조하는 방법

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기관명	NDSL
출원인	에어 프로덕츠 앤드 케미칼스, 인코오포레이티드
출원번호	10-2016-0074555
출원일자	2016-06-15
공개번호	20160630
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	다성분 필름을 증착시키기 위한 방법 및 전구체 조성물이 본원에 기재된다.한 구체예에서, 본원에 기재된 방법 및 조성물은 상 변화 메모리 및 광전지 장치를 위해서 원자층 증착(ALD)을 통한 게르마늄 텔루륨, 안티몬 게르마늄, 및 게르마늄 안티몬 텔루륨(GST) 필름과 같은 게르마늄-함유 필름 및/또는 다른 게르마늄, 텔루륨 및 셀레늄 기반 금속 화합물을 층착시키는데 사용된다.본 구체예 또는 다른 구체예에서, 사용된 Ge 전구체는 트리클로로게르만을 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020160074555
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