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에칭액, 보급액 및 구리 배선 형성 방법

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기관명	NDSL
출원인	멕크 가부시키가이샤
출원번호	10-2016-7016100
출원일자	2016-06-16
공개번호	20160728
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	구리 배선의 선형성을 손상시키지 않으면서 사이드 에칭을 억제할 수 있는 에칭액과 그 보급액 및 구리 배선 형성 방법을 제공한다. 본 발명의 에칭액은 구리 에칭액으로서, 산, 산화성 금속 이온 및 헤테로방향족 화합물을 함유하는 수용액이다. 상기 헤테로방향족 화합물은 고리를 구성하는 헤테로 원자로 질소를 1개 이상 갖는 헤테로방향족 5 원환 및 고리를 구성하는 헤테로 원자로 질소를 1개 이상 갖는 헤테로방향족 6 원환을 분자 내에 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167016100
첨부파일