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제해 기능을 갖는 진공 펌프

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
출원번호	10-2015-0035975
출원일자	2015-03-16
공개번호	20151001
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 배기 가스 처리의 결과로 석출된 생성물이 프로세스 챔버로 역류하는 일이 없어 프로세스 챔버의 오염을 방지할 수 있고, 퍼지용 가스나 희석용 가스가 배기 가스 중에 포함되는 일이 없어 처리 가스량을 줄일 수 있으며, 제해부에서의 가스 처리에 필요한 에너지를 저감하여 에너지 절약을 도모할 수 있는 제해 기능을 갖는 진공 펌프를 제공하는 것을 목적으로 한다. 배기 가스를 처리하는 제해부를 부설한 진공 펌프로서, 진공 펌프는, 대기압으로부터 배기 가능한 메인 펌프(1)와 메인 펌프(1)의 배기 속도를 상승시키는 부스터 펌프(2)를 구비한 드라이 진공 펌프로 이루어지며, 적어도 하나의 배기 가스를 처리하는 제해부(3)를 메인 펌프(1)와 부스터 펌프(2) 사이에 접속하였다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020150035975
첨부파일