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제해 기능을 갖는 진공 펌프

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
출원번호	10-2015-0035831
출원일자	2015-03-16
공개번호	20151001
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 배기 가스 처리의 결과로 석출된 생성물이 프로세스 챔버로 역류하는 일이 없어 프로세스 챔버의 오염을 방지할 수 있고, 퍼지용 가스나 희석용 가스가 배기 가스 중에 포함되는 일이 없어 처리 가스량을 줄일 수 있으며, 제해부에서의 가스 처리에 필요한 에너지를 저감하여 에너지 절약을 도모할 수 있는 제해 기능을 갖는 진공 펌프를 제공하는 것을 목적으로 한다. 배기 가스를 처리하는 제해부를 부설한 진공 펌프(1)로서, 진공 펌프(1)는, 회전축(S)에 복수의 로터(R1, R2, R3, R4, R5, R6)를 배치한 한 쌍의 다단 펌프 로터를 구비한 드라이 진공 펌프(1)로 이루어지며, 적어도 하나의 배기 가스를 처리하는 제해부(3A, 3B, 3C)를 다단 펌프 로터의 단 사이에 접속하였다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020150035831
첨부파일