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통합된 연자성 층을 포함하는 전자기 유도 센서 및 전자기 유도 센서의 생산을 위한 방법

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기관명	NDSL
출원인	마이크로-엡실론 메세테크니크 게엠베하 앤체오. 카게
출원번호	10-2016-7008184
출원일자	2016-03-28
공개번호	20160510
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 측정 물체에 대한 거리에 따라 변화하지만 일시적으로는 일정한 자기장을 이용하여 경로 또는 거리 측정을 하는 유도 센서를 위한 센서 소자와 관련이 있으며, 얇은 강자성 원료는 기판에 통합된다. 또한, 본 발명은 센서 소자의 생산을 위한 공정 뿐만 아니라 센서 소자를 포함하는 센서와 관련이 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167008184
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