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경험적 데이터를 이용한 몬테 카를로 이온 주입 기법알고리즘

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기관명	NDSL
출원인	인하대학교 산학협력단
출원번호	10-2008-0040149
출원일자	2008-04-30
공개번호	20091114
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 반도제 공정 과정 중 이온 주입 공정의 시뮬레이션에 관한 것으로서, 특히 개선된 몬테 카를로 기법을 사용한 확률론적 방법론을 이용하여 계산 효율을 증대를 위한 알고리즘 제공에 관한 것이다. 본 발명은 기존의 몬테 카를로 기법을 통해 얻어낸 공정 프로파일 이용하여 새로운 공정 시뮬레이션에 적용함으로써 중복적인 계산 시간을 줄임으로써 계산 효율을 증가시켰다. 이를 통해 보다 효율적인 공정 기법 연구를 수행할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020080040149
첨부파일