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산화물 소결체 및 반도체 디바이스

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기관명	NDSL
출원인	스미토모덴키고교가부시키가이샤
출원번호	10-2016-7016975
출원일자	2016-06-24
공개번호	20160728
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	인듐과, 텅스텐과, 아연 및 주석 중 적어도 하나를 포함하는 산화물 소결체이며, 결정상으로서 텅스텐과, 아연 및 주석 중 적어도 하나를 포함하는 복산화물 결정상을 포함하는 산화물 소결체, 그리고 이 산화물 소결체를 타겟으로서 이용하여 스퍼터법에 의해 형성한 산화물 반도체막(14)을 포함하는 반도체 디바이스(10)가 제공된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167016975
첨부파일