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스테이지 장치, 패턴 형성 장치, 노광 장치, 스테이지 구동 방법, 노광 방법, 그리고 디바이스 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 니콘
출원번호	10-2015-7035708
출원일자	2015-12-16
공개번호	20160114
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	스테이지 장치는, XY 평면을 따라 이동하는 조동 스테이지 (91) 와, 그 조동 스테이지 상에서, 적어도 XY 평면에 평행한 방향으로 미동 가능한 테이블 (WTB) 을 갖는 웨이퍼 스테이지와, 인코더 시스템을 구비하고 있다. 조동 스테이지에는 복수의 인코더 헤드 (60C 등) 가 형성되어 있다. 각 헤드는, XY 평면에 평행하게 배치된 제 1 그레이팅부 (RG) 및 테이블에 형성된 제 2 그레이팅부 (RG2 Y ) 에 각각 계측 빔 (LB 1 , LB 2 ) 등을 조사하여, 제 1 및 제 2 그레이팅부 각각으로부터의 회절광을 수광한다. 인코더 시스템은, 제 1 및 제 2 그레이팅부에 대향하는 적어도 1 개의 인코더 헤드의 출력에 기초하여, XY 평면 내에 있어서의 테이블 (웨이퍼 스테이지) 의 위치 정보를 계측한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157035708
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