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어레이 기판 및 이의 제조방법

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기관명	NDSL
출원인	엘지디스플레이 주식회사
출원번호	10-2016-0082351
출원일자	2016-06-30
공개번호	20160721
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은, 어레이 기판 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 특히 건식식각 진행에 의해 반도체층의 표면 손상 발생을 원천적으로 억제하며, 소자 특성 안정성이 우수한 산화물 반도체층을 갖는 박막트랜지스터를 포함하는 어레이 기판 및 이의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은, 산화물 반도체층 및 그 상부로 에치스토퍼를 구비하면서도 총 4회의 마스크 공정에 의해 박막트랜지스터를 완성함으로써 마스크 공정 수를 줄여 공정을 단순화하고 제조 비용을 저감시키는 효과를 갖는다. 또한, 산화물 반도체층이 건식식각 및 금속물질의 식각액에 노출되지 않음으로써 그 표면 손상이 발생하지 않아 박막트랜지스터 특성이 저하되는 것을 방지하는 효과를 갖는다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020160082351
첨부파일