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박막 트랜지스터 및 그 제조 방법, 어레이 기판, 및 디스플레이 디바이스

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기관명	NDSL
출원인	보에 테크놀로지 그룹 컴퍼니 리미티드
출원번호	10-2016-7020244
출원일자	2016-07-25
공개번호	20160811
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	박막 트랜지스터, 그 제조 방법, 어레이 기판, 및 디스플레이 디바이스가 개시된다.박막 트랜지스터는 기판; 기판 위에 형성된 게이트 전극, 소스 전극, 드레인 전극, 및 반도체층; 게이트 전극과 반도체층 사이 또는 게이트 전극과 소스 전극 및 드레인 전극 사이의 게이트 절연층; 반도체층과 소스 전극 및 드레인 전극 사이에 있으며, 소스 컨택 홀 및 드레인 컨택 홀을 갖는 식각 정지층; 및 소스 전극과 반도체층 사이의 소스 버퍼층 및 드레인 전극과 반도체층 사이의 드레인 버퍼층을 포함한다.소스 전극 및 드레인 전극은 금속 Cu 전극이고, 소스 버퍼층 및 드레인 버퍼층은 Cu 합금층이다.소스 버퍼층 및 드레인 버퍼층의 형성은 아래 있는 반도체층에 대한 소스 전극 및 드레인 전극의 접착력을 개선하며 이로써 TFT의 성능 및 화질을 개선한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167020244
첨부파일