반도체 팹 유틸리티 모듈화 설계시스템
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 출원인 | , |
| 출원번호 | 10-2015-0169593 |
| 출원일자 | 2015-12-01 |
| 공개번호 | 20160311 |
| 공개일자 | 2016-03-07 |
| 등록번호 | 10-1600068-0000 |
| 등록일자 | 2016-02-26 |
| 권리구분 | KPTN |
| 초록 | 본 발명은 반도체 팹 유틸리티 모듈화 설계시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 장비의 잦은 변경에 유연하게 대처하여 설계 변경에 따른 공기 지연 리스크를 최소화하고, 반도체 팹 유틸리티 모듈화를 통해 시공 인력, 시공 시간을 줄이는 등 효율적인 시공을 할 수 있으며, 반도체 팹 유틸리티 모듈을 통해 1차적으로 사전 배관 작업을 수행함으로써, 시공시 배관 등의 리프팅 작업, 현장 배관 용접과정을 최소화하여 시공 기간을 현저히 단축할 수 있으며, 양중관리 투입 인력을 감소할 수 있고, 균일한 품질을 확보할 수 있으며, 초기 투자비의 감소 효과를 기대할 수 있는 반도체 팹 유틸리티 모듈화 설계시스템에 관한 것이다. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020150169593 |
| 첨부파일 |
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| IPC분류체계CODE | H01L-021/02,E04B-001/348,E04H-005/02 |
| 주제어 (키워드) |