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다층막 반사경, 다층막 반사경의 제조 방법, 투영 광학계, 노광 장치, 디바이스의 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 니콘
출원번호	10-2016-7003246
출원일자	2016-02-04
공개번호	20160317
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	고기능이면서 심플한 구성의 다층막 반사경을 제공하기 위해, 본 발명의 다층막 반사경의 일례는, 기판측으로부터 차례로, 제 1 등주기 다층막과, 조정층과, 제 2 등주기 다층막을 가진 다층막 반사경이고, 하기 (a)~(c)의 조합이 반사면 내의 위치마다 또는 영역마다 설정되어 있다.(a) 상기 제 1 등주기 다층막이 단체로 갖는 반사 특성, (b) 상기 제 2 등주기 다층막이 단체로 갖는 반사 특성, (c) 상기 조정층의 막 두께.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167003246
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