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페라이트 막대들을 제조하기 위한 정밀 배치 생성 방법

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	코닌클리케 필립스 엔.브이.
출원번호	10-2016-7011943
출원일자	2016-05-04
공개번호	20160616
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 페라이트 막대를 제조하는 방법에 관한 것이다. 상기 방법은 두 개의 반도체 기판들에 공동들을 에칭하는 단계 및 상기 공동들로 페라이트 층들을 증착시키는 단계를 포함한다. 상기 반도체 기판들은 상기 페라이트 층들이 페라이트 막대를 형성하도록 서로 부착된다. 본 발명은, 자기 재료가 패러데이 회전 또는 위상-천이 요소를 형성하기 위해 증착될 수 있는, 템플릿 또는 몰드를 정확하게 및 반복 가능하게 형성하기 위해 반도체 웨이퍼들의 종래의 포토리소그래피 및 벌크 등방성 미세 기계 가공을 이용한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167011943
첨부파일