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실리콘 웨이퍼용 연마액 조성물

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기관명	NDSL
출원인	카오카부시키가이샤
출원번호	10-2016-7008351
출원일자	2016-03-29
공개번호	20160422
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명의 실리콘 웨이퍼용 연마액 조성물은, 실리카 입자를 0.01 ∼ 0.5 질량% 와, 함질소 염기성 화합물과, 수용성 고분자를 포함하고, 수용성 고분자는, 하기 일반식 (1) 로 나타내는 구성 단위를 포함하고, 수용성 고분자에 있어서, 수산기 유래의 산소 원자수와 폴리옥시알킬렌 유래의 산소 원자수의 비 (수산기 유래의 산소 원자수/폴리옥시알킬렌 유래의 산소 원자수) 가 0.8 ∼ 10 이다. 수용성 고분자는, 바람직하게는 폴리글리시돌, 폴리글리시돌 유도체, 폴리글리세린, 폴리글리세린 유도체, 폴리비닐알코올을 측사슬로 하는 폴리비닐알코올·폴리에틸렌글리콜·그래프트 코폴리머로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종이다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167008351
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