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연마제, 연마제 세트 및 기체의 연마 방법

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기관명	NDSL
출원인	히타치가세이가부시끼가이샤
출원번호	10-2016-7012068
출원일자	2016-05-09
공개번호	20160901
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	액상 매체와, 4가 금속 원소의 수산화물을 포함하는 지립과, 제1 첨가제와, 제2 첨가제와, 제3 첨가제를 함유하며, 상기 제1 첨가제가 폴리옥시알킬렌쇄를 갖는 화합물 및 비닐알코올 중합체로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종이고, 상기 제2 첨가제가 양이온성 중합체이고, 상기 제3 첨가제가 아미노기 함유 술폰산 화합물인 연마제.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167012068
첨부파일