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특허/실용신안
개선된 고체 게터를 갖춘 기판 격납고
특허 실용신안 개요
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 출원인 | 엔테그리스, 아이엔씨. |
| 출원번호 | 10-2016-7008678 |
| 출원일자 | 2016-04-01 |
| 공개번호 | 20160519 |
| 공개일자 | 0000-00-00 |
| 등록번호 | |
| 등록일자 | 0000-00-00 |
| 권리구분 | KUPA |
| 초록 | 본 발명은 하나 이상의 기판을 위한 격납고에 관한 것으로서, 격납고는 내포된 체적 영역을 형성하는 인클로저를 가지며, 그리고 일련의 홈 또는 다른 반복적인 표면 구조 패턴에 의해 판 또는 블록에 형성되는 증가된 표면 영역에 의해 제공되는 개선된 성능을 갖는 블록 또는 판 게터 유닛이 격납고 내부에 포함되어 있다.그런 패터닝은 블록 또는 판에 증가된 표면 영역을 제공함으로써 내포된 체적 영역에 대한 활성 성분의 노출을 증가시킨다.일 실시예에서, 블록 또는 판의 일 측부의 구조는 대향하는 측부에 거울상 표면 또는 상보적인 표면을 갖는다.그런 구조에 의해, 블록 또는 판의 강성이 보존되고, 중량이 최소화되며, 노출된 표면 영역이 최대화된다.인클로저는 특정한 포켓을 가질 수도 있거나, 블록 또는 판 게터를 위한 종래의 기판 슬롯을 이용할 수도 있다.판 또는 블록 게터는 웨이퍼 용기 또는 다른 기판 용기 내의 전용 포켓 또는 종래의 슬롯 내에 끼워맞춰지도록 구성될 수도 있다. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167008678 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| IPC분류체계CODE | H01L-021/673,B65D-081/26,B65D-085/38 |
| 주제어 (키워드) |