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다층막 반사경 및 노광장치

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 니콘
출원번호	10-2002-0027617
출원일자	2002-05-18
공개번호	20080509
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	광학 특성을 열화시키지 않으며 입사각도에 의존하지 않고 높은 반사율을 얻을 수 있는 다층막 반사경 및 이를 사용한 X선 노광장치를 제공한다. 다층막 반사경 (50) 은, 연X선 영역에서의 굴절율과 진공 굴절율의 차이가 큰 물질로 이루어진 Mo층 (56) 과 작은 Si층 (57) 을 기판 (55) 상에 번갈아 적층하여 형성된다. Mo층 (56) 두께와 Si층 (57) 두께의 합계에 대한 Mo층 (56) 두께의 비 (Γ) 가 반사경 면내의 X선의 입사각도 분포에 따른 분포를 갖는다. Γ를 반사경 면내에서 입사각도 분포에 대응시켜 분포시킴으로써 반사경 면내의 각 점의 입사각도에서 최대의 반사율을 얻을 수 있다. 이 때 주기길이를 변경할 필요가 없기 때문에 반사경의 광학 성능을 열화시키는 일은 없다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020020027617
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