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EUVL 다층 구조체

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기관명	NDSL
출원인	더 리전트 오브 더 유니버시티 오브 캘리포니아
출원번호	10-2003-7013221
출원일자	2003-10-09
공개번호	20080509
공개일자	2006-04-03
등록번호	10-0567363-0000
등록일자	2006-03-28
권리구분	KPTN
초록	Mo와 Si으로 형성된 교대층 사이에 보론카바이드(예; B 4 C)를 증착시킴으로써 소프트 X선 및 극자외선 영역에서 사용되는 Mo/Si(몰리브덴/실리콘) 다층 필름의 반사율 및 열 안정성이 향상된다. 이것은 소프트 X선 및 극자외선 광학용 반사 코팅, 마스크용 다층, 그리고 순수한 Mo/Si 다층보다 열 안정성이 높은 마스크용 다른 파장 및 다층을 위한 코팅에 유용하다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020037013221
첨부파일