특허 | 기업공감원스톱서비스

특허

투영 광학계 및 해당 투영 광학계를 구비한 노광 장치

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 니콘
출원번호	10-2003-0072405
출원일자	2003-10-17
공개번호	20080509
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 X선에 대해서도 양호한 반사 특성을 갖고, 반사경의 대형화를 억제하면서 수차 보정을 양호하게 실행할 수 있는 반사형 투영 광학계를 제공하는 것으로, 여섯 개의 반사경을 구비하고, 제 1 면(4)의 축소 이미지를 제 2 면(7) 상에 형성하는 투영 광학계. 제 1 면의 중간 이미지를 형성하기 위한 제 1 반사 결상 광학계 G1과, 중간 이미지의 이미지를 제 2 면 상에 형성하기 위한 제 2 반사 결상 광학계 G2를 구비하고 있다. 제 1 반사 결상 광학계는 제 1 면 측으로부터 광의 입사 순서로, 제 1 반사경 M1과 개구 조리개 AS와 제 2 반사경 M2와 제 3 반사경 M3과 제 4 반사경 M4를 갖는다. 제 2 반사 결상 광학계는 제 1 면 측으로부터 광의 입사 순서로, 제 5 반사경 M5와 제 6 반사경 M6을 갖는다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020030072405
첨부파일