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X선 회절장치

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기관명	NDSL
출원인	가부시끼가이샤 리가쿠
출원번호	10-2004-0020425
출원일자	2004-03-25
공개번호	20080509
공개일자	2008-05-07
등록번호	10-0827392-0000
등록일자	2008-04-28
권리구분	KPTN
초록	본 발명은 인 플레인(IN-PLANE) 회절측정이 가능한 X선회절장치에 관한 것이다. 본 발명은 입사광학계(22), 시료지지기구(24), 수광광학계(26), 그리고 수광광학계회전수단(30)을 구비하고 있고, 전기 입사광학계(22)로부터 출사한 X선이, 전기 시료지지기구(24)에 지지된 시료(60)에 입사하여, 이 시료(60)에서 회절한 X선이 전기 수광광학계(26)에서 검출되도록 된다. 입사광학계는 X선원(66)과 다층막미러(76)를 구비하고 있다. 시료지지기구의 자세제어수단(36,40)은, 시료의 법선(61)이 제1의 회전중심선(32)에 평행하도록 시료를 제1의 자세로 유지하는 상태와, 수직하게 되도록 제2의 자세로 유지하는 상태를 바꾼다. 시료를 제1의 자세로 유지하여 수광광학계를 제1의 회전중심선의 주위에 회전시키면, 인플레인 회절측정이 가능하게 된다. 한편, 시료를 제2의 자세로 유지하여 수광광학계를 마찬가지로 회전시키면, 아웃 오브 플레인 회절측정이 가능하게 된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020040020425
첨부파일