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노광장치 및 이것을 이용한 디바이스의 제조방법

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기관명	NDSL
출원인	캐논 가부시끼가이샤
출원번호	10-2004-7017241
출원일자	2004-10-26
공개번호	20080509
공개일자	2006-09-25
등록번호	10-0627167-0000
등록일자	2006-09-15
권리구분	KPTN
초록	표적상에 여기 레이저를 조사하고, 생성된 플라즈마로부터, 극자외선 영역 또는 X선 영역의 조명광을 생성하기 위한 광원을 생성시키는 노광장치에 있어서, 상기 조명광을 이용해서, 전사될 패턴을 형성하는 반사형 레티클을 조명하고, 상기 광원에 인접한 제 1미러를 포함하는 조명광학계와, 상기 조명광학계의 제 1미러의 앞쪽에서 조명광을 집광하는 타원형 미러와, 상기 레티클상에 반사된 패턴을 피노광체상에 축소투영하는 투영광학계를 구비하고, 상기 여기 레이저의 광축방향이 해당 여기 레이저에 의해 플라즈마를 생성하는 위치를 넘어서 진행하는 광은, 상기 조명광학계, 상기 투영광학계 및 상기 타원형 미러를 포함하는 해당 노광장치의 구성소자와 간섭하지 않는 것을 특징으로 한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020047017241
첨부파일