초록 |
본 발명은 하나의 레이져 펄스를 나누어 다중 펄스로 분할하고 다중 펄스들의 에너지와 다중 펄스들간의 지연시간에 대한 조정이 가능하여 최적의 X선(1~10nm)및 극자외선(EUV,10~20nm)로의 변환효율을 갖게 하는 펄스에너지 조절이 가능한 다중 펄스 광학장치에 관한 것으로 레이져 발생수단; 상기 레이져 발생수단에서 조사된 레이져광의 광로상에 설치되고, 상기 레이져광의 편광상태를 변화시켜 에너지를 조절하도록 형성된 제 1 펄스에너지 조절수단; 상기 제 1펄스에너지 조절수단을 통과한 레이져광을 지정된 수직수평성분비로 반사 및 투과시키는 제 1 광분할수단; 상기 제 1광분할수단에서 반사된 일부 레이져광을 지연시키도록 형성된 지연시간 부가수단;및 상기 지연시간 부가수단에서 지연된 일부 레이져광 및 상기 제 1광분할수단에서 투과된 일부 레이져광을 지정된 수직수평성분비로 반사 및 투과시키는 제 2 광분할수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 펄스에너지 조절이 가능한 다중 펄스 광학장치를 제공한다. 본 발명에 따르면 단일 펄스를 입사시키는 것보다 X선 및 극자외선 영역의 빛의 세기를 향상 시킬 수 있다. 또한, 분할되는 각각의 펄스에너지와 각 펄스간의 지연시간을 조절하여 X선 및 극자외선 영역의 빛으로의 변환효율이 최대가 되는 조건을 보다 용이하게 찾을 수 있는 이점이 있다. |