특허 | 기업공감원스톱서비스

특허

기판들을 위한 유지 배열체

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
출원번호	10-2016-7020184
출원일자	2016-07-22
공개번호	20160901
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	진공 층 증착 동안 기판(20)을 유지하기 위한 유지 배열체(10)가 제공된다.유지 배열체(10)는, 하나 또는 그 초과의 프레임 엘리먼트들을 갖는 프레임; 및 프레임 엘리먼트들 중 하나 또는 그 초과에 제공되고 컨베잉 시스템의 하나 또는 그 초과의 컨베잉 롤러들(60)과 접촉하도록 구성된 하나 또는 그 초과의 접촉 인터페이스들(50, 500)을 포함하며, 하나 또는 그 초과의 접촉 인터페이스들(50, 500)의 재료의 쇼어 D 경도는 85 내지 90의 범위에 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167020184
첨부파일